一、半導體/集成電路

蓋斯帕克長(cháng)期與集成電路廠(chǎng)家合作，專(zhuān)門(mén)開(kāi)發(fā)設計安裝的高純的EP級特氣柜、氣體分配柜廣泛用于濕蝕刻(wet etching)、干蝕刻(dry etching)、常壓化學(xué)氣相淀積（APCVD）、低壓化學(xué)氣相淀積（LPCVD）、等離子體化學(xué)氣相淀積（PECVD）、濺射（PF）、光刻等半導體設備的供氣服務(wù)，同時(shí)還算征對各家工廠(chǎng)的實(shí)際特點(diǎn)，量身定制地開(kāi)發(fā)了危險氣體監控管理系統（GDS），為廠(chǎng)家的安全生產(chǎn)保駕護行。還相應開(kāi)發(fā)了上述生產(chǎn)設備的尾氣處理系統，保證了工廠(chǎng)廢氣的排放達標