大宗氣體工程

　　集成電路芯片廠(chǎng)中所使用的氣體按用量大小可以分為二種：用量大的稱(chēng)為大宗氣體(Bulk gas)，用量較小的稱(chēng)為特種氣體(Specialty gas)。

　　大宗氣體通常有：氮氣、氧氣、氫氣、氬氣、氦氣等，其中最常見(jiàn)常用的為氮氣。

　　大宗氣體工程即集中供氣系統工程，分為氣源部分，輸送管道部分，終端配置設備部分。

集中供氣系統工程組成

　　氣源部分：儲氣裝置有GC/GR，混流排、單瓶或雙瓶多瓶面板等，根據氣體的不同性質(zhì)來(lái)選擇，如腐蝕有毒易燃易爆特氣則用GC，普通惰性氣體用GR。

　　管路部分：不同性質(zhì)氣體用不同材質(zhì)，如特氣為雙套管，用EP級不銹鋼管作內管，外管為BA級不銹鋼管，普氣則選用BA級不銹鋼管。

　　終端部分：VMB/VMP、單面板。根據不同氣體性質(zhì)選擇，如特氣選用VMB，普氣選用VMP。

　　1.管件的選擇，業(yè)內多數使用SUS316不銹鋼材質(zhì)管，而該類(lèi)管的拋光等級上卻有不同，然而不同的氣體對管件有著(zhù)不同的要求，易燃易爆及毒腐氣體對管件要求比較高，普通電子氣體的要求則相對較低。

　　2.閥門(mén)組件選擇，不同的閥門(mén)有著(zhù)不同的密封性，其制作工藝上也有很大的區別。對于危險性氣體要選用密封線(xiàn)較高的閥門(mén)。

　　3.減壓設備選擇，減壓設備要嚴格根據氣體輸送壓力來(lái)選擇，減壓范圍要合理，使其壓力變更更加精確。

　　4.氣路泄漏偵測是整個(gè)工程必不可缺少的部分，部分危險氣體泄漏后危險性極大，所以在安全方面必須有著(zhù)極為嚴格的要求!

　　蓋斯帕克氣體技術(shù)公司一站式服務(wù)全方面解決大宗氣體工程需求，十年從業(yè)經(jīng)驗讓我們在技術(shù)上達到國際水平，服務(wù)上做到良心水平。