電子特種氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支，是集成電路（IC）、顯示面板（LCD、OLED）、光伏能源、光纖光纜等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的關(guān)鍵性原材料，廣泛應用于薄膜、光刻、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝，其質(zhì)量對電子元器件的性能有重要影響。
氣體的產(chǎn)品種類(lèi)豐富，電子元器件在其生產(chǎn)過(guò)程中對氣體產(chǎn)品存在多樣化需求。就集成電路制造過(guò)程中需要的高純特種氣體和混合氣體的種類(lèi)超過(guò)50種，且每一種工藝步驟中都會(huì )用到特定的氣體。此外，在顯示面板、LED、太陽(yáng)能電池片等器件的制造中的不同工藝環(huán)節均會(huì )用到多種特種氣體。
電子特氣在其生產(chǎn)過(guò)程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術(shù)，下游客戶(hù)對產(chǎn)品質(zhì)量要求較高。尤其是極大規模集成電路、新型顯示面板等精密化程度非常高的應用領(lǐng)域，對特種氣體的純化、雜質(zhì)檢測、儲運技術(shù)都有著(zhù)嚴格的要求。
高純氣體純度：特種氣體要求超純、超凈。純度每提升一個(gè) N 以及粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個(gè)數量級都將帶來(lái)工藝復雜度和難度的顯著(zhù)提升。例如，12吋、90nm制程的集成電路制造技術(shù)要求電子特氣的純度要在 5N~6N 以上，有害的氣體雜質(zhì)濃度需要控制在 ppb（10-9）；在更為先進(jìn)的28nm 及目前國際一線(xiàn)的 6nm~10nm 集成電路制程工藝中，電子特氣的純度要求更高，雜質(zhì)濃度要求甚至達到 ppt（10-12）級別。
電子混合氣配比的精度：隨著(zhù)混合氣中產(chǎn)品組分的增加、配制精度的上升，常要求氣體供應商能夠對多種 ppm（10-6）乃至 ppb（10-9）級濃度的氣體組分進(jìn)行精細操作，其配制過(guò)程的難度與復雜程度也顯著(zhù)增大。
氣體儲運：保證氣體在存儲、運輸、使用過(guò)程中不會(huì )被二次污染，對氣瓶?jì)炔?、內壁表面的處理涉及多項工藝，均依?lài)于長(cháng)期的行業(yè)探索和研發(fā)；此外，對于某些具有高毒性或危險性的氣體，需要使用負壓氣瓶?jì)\，以減少危險氣體泄露風(fēng)險。
氣體分析檢測：由于需要檢測的雜質(zhì)含量低至 ppb 級別，需要使用特殊的氣相色譜、ICP-AES、ICP-MS 等非常規分析方法。
電子特氣工藝系統：
特氣系統是指特種氣體的儲存、輸送與分配過(guò)程的設備、管道和部件的總稱(chēng)。特氣系統工程是用于實(shí)現特氣系統安全使用的工程。
特氣系統組成
特氣系統由儲存、輸送、分配、控制四類(lèi)設備組成。其中“存儲”指氣源部分(特氣柜GC)，“輸送”指配管部分(一般用雙套管)，“分配”指二次配部分(氣體分配柜VMB)，“控制”指監督控制部分(氣體管理系統GMS)。
特氣系統特點(diǎn)
特氣系統中的每臺設備均配有PLC控制、彩色觸摸屏操作，帶有溫度、壓力、煙霧、泄漏監控報警，并可擴展地震監控報警;單臺設備可以獨成系統獨立運轉，也可多臺設備用PLC或TGO連起來(lái)組成大系統，在監控中心統一監控管理，其報警系統還可以與安監系統、消防系統對接。
應用行業(yè)及設備
芯片半導體、微電子企業(yè)、光伏太陽(yáng)能、生物制藥、新材料等行業(yè)，常配套用于濺射真空鍍、沉積刻蝕、鈍化清洗等設備。
