雙瓶特氣柜(Gas Cabinet)

名稱(chēng)：雙瓶特氣柜

規格：雙工藝氣瓶，全自動(dòng)

型號：HSPGC150206 

■ 特氣柜尺寸：W850寬×D500深×H1800高 

■ 外吹掃：PN2，1/4"MVCR接口 

■ 抽真空：GN2，1/4"MVCR接口 

■ 氣動(dòng)隔膜閥：CDA驅動(dòng)，1/4"卡套接口 

■ VENT排空管：1/2MVCR接口 

■ 工藝氣體出口：2個(gè)，1/4"MVCR接口 

■ 盤(pán)面規格：1/4"盤(pán)面

■ 標準配備：自動(dòng)切換，防爆防腐柜體，防爆自鎖門(mén)，防爆玻璃觀(guān)察窗，泄漏報警，遠程切斷，欠壓報警，主材SS316L

■ 柜體換氣量:OD100mm排氣口，SiH4-1200次/小時(shí)，其余300次/小時(shí) 

■ 控制柜尺寸：W850寬×D230深×H320高 

■ 控制柜電源：220VAC，50HZ，200W，漏電保護

■ 操作界面：7"彩色觸摸屏

■ 選配：工藝氣瓶重量監控器，工藝氣體超壓報警，盤(pán)面加熱及溫控裝置，報警信號手機短信與電話(huà)通知 

適用范圍：應用在 MOCVD、PECVD、刻蝕機等配套設備上，體現于芯片半導體、光伏太陽(yáng)能電池、生物醫藥工程、微電子新材料等行業(yè)。